采用多靶反应磁控溅射技术在不同碳靶功率(碳靶功率与碳含量成正比)下制备了WCN纳米复合膜, 采用X射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪等对薄膜结构和性能进行表征, 研究了碳含量对WCN复合膜的影响。结果表明: 随碳靶功率即碳含量的增加, 薄膜的物相在原单一WN相的基础上, 出现了新相WCN, 并且晶格常数不断增大, 同时薄膜的硬度和弹性模量先升后降, 在碳靶功率为120 W时, 两者均达到最大值, 分别为36.70, 409.16 GPa; 复合膜的常温摩擦因数和磨损率随碳含量的增加呈现先减小后增大趋势, 高温时薄膜的摩擦因数高于常温的; 薄膜的主要磨损机理是磨粒磨损。
所属栏目
材料性能及其应用国家自然科学基金资助项目(51074080); 江苏省自然科学基金资助项目(BK2008240)
收稿日期
2012/7/222012/10/1
作者单位
王蕊:江苏科技大学材料科学与工程学院, 先进焊接技术江苏省重点实验室, 镇江 212003
喻利花:江苏科技大学材料科学与工程学院, 先进焊接技术江苏省重点实验室, 镇江 212003
许俊华:江苏科技大学材料科学与工程学院, 先进焊接技术江苏省重点实验室, 镇江 212003
备注
王蕊(1987-), 女, 吉林磐石人, 硕士研究生。
引用该论文:
WANG Rui,YU Li-hua,XU Jun-hua.Effect of Carbon Content on Properties and Microstructure of WCN Nano-composite Films[J].Materials for mechancial engineering,2013,37(8):50～54
王蕊,喻利花,许俊华.碳含量对WCN纳米复合薄膜结构和性能的影响[J].机械工程材料,2013,37(8):50～54
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