采用多弧离子镀方法在低温(166 K)、室温(300 K)以及不同氩气压力(0.2 ~0.8 Pa)条件下沉积钛薄膜, 通过X射线衍射仪、原子力显微镜、显微硬度计和划痕试验机等对薄膜的物相结构和性能进行了研究。结果表明: 不同工艺条件下沉积的钛薄膜均为密排六方纳米晶ω-Ti和α-Ti的两相复合相结构; 在低温、低氩气压条件下沉积的钛薄膜具有较高含量的硬脆ω相, 因而具有较高的显微硬度, 同时还表现出良好的膜基结合性能, 比较适宜用作固体润滑薄膜与钢基体间的过渡层, 以改善其膜基结合性能和承载能力。
所属栏目
新材料新工艺国家自然科学基金资助项目(50301015, 21173243)
收稿日期
2012/9/172013/6/21
作者单位
高晓明:上海市空间飞行器机构重点实验室, 上海 201108中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 兰州 730000
孙嘉奕:中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 兰州 730000
胡明:中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 兰州 730000
翁立军:中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 兰州 730000
伏彦龙:中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 兰州 730000
杨军:中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 兰州 730000
谭洪根:上海市空间飞行器机构重点实验室, 上海 201108
备注
高晓明(1978-), 男, 甘肃天水人, 副研究员, 博士。
引用该论文:
GAO Xiao-ming,SUN Jia-yi,HU Ming,WENG Li-jun,FU Yan-long,YANG Jun,TAN Hong-gen.Effects of Deposition Temperature and Ar Pressure on Phase Structure and Properties of Ti Films[J].Materials for mechancial engineering,2013,37(10):44～49
高晓明,孙嘉奕,胡明,翁立军,伏彦龙,杨军,谭洪根.沉积温度和氩气压力对钛薄膜物相结构和性能的影响[J].机械工程材料,2013,37(10):44～49
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