利用电弧增强反应磁控溅射（AEMS）方法在高速钢基体上制备了BCN薄膜，通过改变石墨靶功率来调整BCN薄膜中碳元素的含量，采用傅里叶变换红外光谱仪、高分辨透射电镜、显微硬度计和划痕仪等设备研究了BCN薄膜的热稳定性。结果表明：BCN薄膜在高温下具有较好的热稳定性；随着碳含量的增加，高温退火后BCN薄膜原子排列的有序度增加，部分结合键发生转化或分解，结合力下降，BCN薄膜的热稳定性降低。

所属栏目

新材料 新工艺安徽省博士后研究人员科研活动经费资助项目（2015B070）；国家自然科学基金资助项目（81501598）

收稿日期

2016/9/72017/8/10

作者单位

陈向阳:安徽理工大学机械工程学院, 淮南 232001西安交通大学金属材料强度国家重点实验室, 西安 710049
张瑾:安徽理工大学机械工程学院, 淮南 232001
黄润:安徽理工大学材料科学与工程学院, 淮南 232001
马胜利:西安交通大学金属材料强度国家重点实验室, 西安 710049

备注

陈向阳(1979-),男,河南周口人,讲师,博士

引用该论文:

CHEN Xiangyang,ZHANG Jin,HUANG Run,MA Shengli.Effect of Carbon Content on Thermal Stability of BCN Thin Film Prepared by Arc Enhanced Reactive Magnetron Sputtering Method[J].Materials for mechancial engineering,2017,41(10):44～47
陈向阳,张瑾,黄润,马胜利.碳含量对电弧增强反应磁控溅射方法制备BCN薄膜热稳定性的影响[J].机械工程材料,2017,41(10):44～47

参考文献

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