为制备高质量的结晶硅薄膜,以工业玻璃为衬底,利用等离子体增强化学气相沉积工艺制备了非晶硅(α-Si)薄膜,然后分别通过固相晶化和准分子激光晶化两种工艺制备结晶硅(nc-Si)薄膜,采用激光显微拉曼光谱仪、X射线衍射仪和扫描电子显微镜等对两类结晶硅薄膜的结晶率、结晶质量和表面形貌等进行了对比分析。结果表明:采用固相晶化得到的结晶硅薄膜的结晶率约为70%,采用准分子激光晶化得到的结晶率则可达90%;当激光拉曼测试条件变化时,两种结晶硅薄膜的结晶率几乎不变,均处于稳定的晶态结构;采用准分子激光晶化制备的结晶硅薄膜显示出微弱的Si(111)结晶峰位,并具有较大的晶粒尺寸和规则的晶界分布。

所属栏目

试验研究上海市市级大学生创新训练资助项目(cs1305010);上海高校一流学科(培育)基金资助项目(YLJX12-2)

收稿日期

2014/2/92014/10/9

作者单位

王志雄:上海工程技术大学材料工程学院,上海 201620
王欣:上海工程技术大学材料工程学院,上海 201620
李霞霞:上海工程技术大学材料工程学院,上海 201620
黄飞武:上海工程技术大学材料工程学院,上海 201620
张霞:上海工程技术大学材料工程学院,上海 201620

备注

王志雄(1993-),男,甘肃天水人,在读本科生。

引用该论文:

WANG Zhi-xiong,WANG Xin,LI Xia-xia,HUANG Fei-wu,ZHANG Xia.A Contrast of Crystalline Silicon Thin Films Prepared by Solid Phase Crystallization and Excimer Laser Annealing[J].Materials for mechancial engineering,2014,38(11):46～49
王志雄,王欣,李霞霞,黄飞武,张霞.采用固相晶化和准分子激光晶化制备结晶硅薄膜的对比[J].机械工程材料,2014,38(11):46～49

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