采用多弧离子镀方法在低温(173 K)下沉积了银和银铜薄膜, 通过地面原子氧模拟试验系统考察了薄膜的耐原子氧性能, 通过X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构和耐原子氧性能进行了分析, 并与室温下沉积的银薄膜进行了比较。结果表明: 低温沉积和铜元素合金化, 可减小银薄膜的晶粒尺寸, 并提高其结构致密性; 低温沉积的银铜薄膜表现出细密的结构, 这有利于抑制原子氧对薄膜的氧化, 从而使其比室温及低温下沉积的银薄膜具有更好的耐原子氧性能。
所属栏目
材料性能及其应用国家自然科学基金资助项目(50301015, 51227804)
收稿日期
2012/9/292013/6/27
作者单位
高晓明:上海市空间飞行器机构重点实验室, 上海 201108中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 兰州 730000
孙嘉奕:中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 兰州 730000
胡明:中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 兰州 730000
翁立军:中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 兰州 730000
伏彦龙:中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 兰州 730000
杨军:中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 兰州 730000
谭洪根:上海市空间飞行器机构重点实验室, 上海 201108
张良俊:上海市空间飞行器机构重点实验室, 上海 201108
备注
高晓明(1978-), 男, 甘肃天水人, 副研究员, 博士。
引用该论文:
GAO Xiao-ming,SUN Jia-yi,HU Ming,WENG Li-jun,FU Yan-long,YANG Jun,TAN Hong-gen,ZHANG Liang-jun.Atomic Oxygen Resistant Behavior of Ag and Ag-Cu Films Deposited at Low Temperature[J].Materials for mechancial engineering,2013,37(11):55～59
高晓明,孙嘉奕,胡明,翁立军,伏彦龙,杨军,谭洪根,张良俊.低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能[J].机械工程材料,2013,37(11):55～59
被引情况:
【1】
王会,徐晓,冯斌,王德苗, "磁控溅射银/铜双层膜的电性能和结合强度",机械工程材料
39, 65-67(2015)
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