综述了反射镜用SiC陶瓷表面改性涂层的研究现状, 重点介绍了化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)制备SiC涂层和硅涂层的优缺点及制备机理, 并讨论了SiC陶瓷光学部件表面改性今后的发展方向。

所属栏目

综述

收稿日期

2011/12/92012/8/20

作者单位

蒋芳:中国科学院上海硅酸盐研究所结构陶瓷工程研究中心, 上海200050中国科学院研究生院, 北京 100049
杨勇:中国科学院上海硅酸盐研究所结构陶瓷工程研究中心, 上海200050
黄政仁:中国科学院上海硅酸盐研究所结构陶瓷工程研究中心, 上海200050

备注

蒋芳(1986-), 女, 安徽阜阳人, 硕士研究生。

引用该论文:

JIANG Fang,YANG Yong,HUANG Zheng-ren.Research Progress of SiC Ceramic Surface Modification with Coating for Mirror[J].Materials for mechancial engineering,2012,36(12):1～4
蒋芳,杨勇,黄政仁.反射镜用SiC陶瓷表面改性涂层的研究进展[J].机械工程材料,2012,36(12):1～4

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