基于声波高次谐振的频率偏移与弹性板厚度变化间的关系, 提出一种定量检测弹性板厚度的新方法。针对最大有效机电耦合系数(k2eff(max))对应的谐振模式, 研究了弹性板厚度对最大有效机电耦合系数对应模式的谐振频率的影响, 给出修正的频率偏移与厚度变化间的关系公式。相关数值计算表明, 该方法的检测灵敏度可达50 Hz/μm, 可用于板厚及其变化的检测和板表面状况的无损评价。

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2010年远东无损检测论坛论文精选国家自然科学基金资助项目(10774074); 教育部博士点基金资助项目(20090091120048)

收稿日期

作者单位

王禹然:南京大学 声学研究所 近代声学实验室, 南京 210093
张 辉:南京大学 声学研究所 近代声学实验室, 南京 210093
张淑仪:南京大学 声学研究所 近代声学实验室, 南京 210093

备注

王禹然(1986-), 男, 硕士研究生, 研究方向为超声检测。

引用该论文:

WANG Yu-Ran,ZHANG Hui,ZHANG Shu-Yi.A Method for Quantitatively Evaluating Thickness of Elastic Plates Using High-Overtone Bulk Acoustic Resonance[J].Nondestructive Testing,2010,32(8):593～596
王禹然,张 辉,张淑仪.高次驻波谐振定量检测弹性板厚度的方法[J].无损检测,2010,32(8):593～596

参考文献

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【3】

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【5】

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【6】

Pao Shih-Yung, Chao Min-Chiang, Wang Zuoqing, et al. Analysis and experiment of HBAR frequency spectra and applications to characterize the piezoelectric thin film and to HBAR design[C]. Frequency Control Symposium and PDA Exhibition, 2002. IEEE International: 2002: 27-35.